电液伺服阀是将电量转变成液压输出量的电液转换元件，出现於1940年。到50年代，这种元件的结构趋於成熟。随著电子技术和计算机技术的发展，电液伺服系统的性能得到显著改善，大大优於其他的液压伺服系统，因而得到广泛应用。电液伺服阀的内部结构可分滑阀位置反馈、载荷压力反馈和载荷流量反馈；阀的级数可分单级、双级和多级